Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
A study on controllable aluminium doped zinc oxide patterning by chemical etching for MEMS application
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BSO - Titre
A study on controllable aluminium doped zinc oxide patterning by chemical etching for MEMS application
XX
DOI
DOI
10.1007/s00542-015-2783-1
XX
DOAI
DOAI
10.1007/s00542-015-2783-1
XX
Identifiant WoS
WOS:000408704500005
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Accès ouvert
OA - Oui
XX
Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Archive
XX
Editeur
Springer
XX
Source
MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS
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ISSN
0946-7076
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Type de document
Article
XX
Notoriété
2 - Acceptable
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
XX
uid:/02C8RCR7
12/10/2021 14:52:50 (latest)
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