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Poids de l’Open access dans la production CNRS

Titre

Atomic force microscope based on vertical silicon probes

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BSO - Titre

Atomic force microscope based on vertical silicon probes

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DOI

DOI10.1063/1.4985125

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DOAI

DOAI10.1063/1.4985125

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Identifiant WoS

WOS:000403678300023

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Accès ouvert

OA - Non

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Source - Accès ouvert

OA - Non

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Type d'accès

Non OA

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Editeur

AIP Publishing

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Source

APPLIED PHYSICS LETTERS

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ISSN

0003-6951

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Type de document

Article

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Notoriété

4 - Excellente

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CNRS

Oui

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CNRS - Institut

INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes

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