Poids de l’Open access dans la production CNRS
Home
Resources
Graphs
Search
Export
Sign in
Titre
Improving the degree of crystallinity of magnetron-sputtered Ta3N5 thin films by augmenting the ion flux onto the substrate
XX
BSO - Titre
Improving the degree of crystallinity of magnetron-sputtered Ta 3 N 5 thin films by augmenting the ion flux onto the substrate
XX
DOI
DOI
10.1016/j.tsf.2017.05.033
XX
DOAI
DOAI
10.1016/j.tsf.2017.05.033
XX
Identifiant WoS
WOS:000408037800008
XX
Accès ouvert
OA - Non
XX
Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Non OA
XX
Editeur
Elsevier
XX
Source
THIN SOLID FILMS
XX
ISSN
0040-6090
XX
Type de document
Article
XX
Notoriété
3 - Correcte
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INC - Institut de chimie
INSHS - Institut des sciences humaines et sociales
INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
XX
uid:/0W8LJ3GH
12/10/2021 14:52:50 (latest)
Add field
Share/Export
Powered by
Lodex
9.6.0
