Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
Role of Trimethylaluminum in Low Temperature Atomic Layer Deposition of Silicon Nitride
XX
BSO - Titre
Role of Trimethylaluminum in Low Temperature Atomic Layer Deposition of Silicon Nitride
XX
DOI
DOI
10.1021/acs.chemmater.7b01816
XX
DOAI
DOAI
10.1021/acs.chemmater.7b01816
XX
Identifiant WoS
WOS:000406573200034
XX
Accès ouvert
OA - Non
XX
Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Non OA
XX
Editeur
ACS - American Chemical Society
XX
Source
CHEMISTRY OF MATERIALS
XX
ISSN
0897-4756
XX
Type de document
Article
XX
Notoriété
5 - Exceptionnelle
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INS2I - Institut des sciences de l'information et de leurs interactions
INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
XX
uid:/169G3K2S
12/10/2021 14:52:48 (latest)
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