Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
High capacitance density of 185 nF/mm(2) achieved in three-dimensional MIM structures using TiO2 as a dielectric
XX
BSO - Titre
High capacitance density of 185 nF/mm2 achieved in three-dimensional MIM structures using TiO2 as a dielectric
XX
DOI
DOI
10.1063/1.4986196
XX
DOAI
DOAI
10.1063/1.4986196
XX
Identifiant WoS
WOS:000403678300028
XX
Accès ouvert
OA - Non
XX
Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Non OA
XX
Editeur
AIP Publishing
XX
Source
APPLIED PHYSICS LETTERS
XX
ISSN
0003-6951
XX
Type de document
Article
XX
Notoriété
4 - Excellente
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
XX
uid:/60T3RFPH
12/10/2021 14:52:45 (latest)
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