Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
Modeled optical properties of SiGe and Si layers compared to spectroscopic ellipsometry measurements
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BSO - Titre
Modeled optical properties of SiGe and Si layers compared to spectroscopic ellipsometry measurements
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DOI
DOI
10.1016/j.sse.2016.12.011
XX
DOAI
DOAI
10.1016/j.sse.2016.12.011
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Identifiant WoS
WOS:000394402800015
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Accès ouvert
OA - Non
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Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Non OA
XX
Editeur
Elsevier
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Source
SOLID-STATE ELECTRONICS
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ISSN
0038-1101
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Type de document
Article
XX
Notoriété
2 - Acceptable
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CNRS
Oui
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CNRS - Institut
INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
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uid:/6VF4W2V6
12/10/2021 14:52:36 (latest)
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