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Poids de l’Open access dans la production CNRS

Titre
Thin film deposition of Ta, TaN and Ta/TaN bi-layer on Ti and SS316-LVM substrates by RF sputtering
BSO - Titre
Thin film deposition of Ta, TaN and Ta/TaN bi-layer on Ti and SS316-LVM substrates by RF sputtering
Identifiant WoS
WOS:000396184400102
Accès ouvert
OA - Non
Source - Accès ouvert
OA - Non
Type d'accès
Non OA
Editeur

Elsevier

Source

SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY

ISSN
0257-8972
Type de document
  • Article
Notoriété
4 - Excellente
CNRS
Oui
CNRS - Institut
  • INC - Institut de chimie
uid:/8K6BHLG4
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