Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
The role of active species in the N-2 and N-2-H-2 RF afterglows on selective surface nitriding of ALD-grown TiO2 films
XX
BSO - Titre
The role of active species in the N 2 and N 2 -H 2 RF afterglows on selective surface nitriding of ALD-grown TiO 2 films
XX
DOI
DOI
10.1016/j.surfcoat.2017.05.085
XX
DOAI
DOAI
10.1016/j.surfcoat.2017.05.085
XX
Identifiant WoS
WOS:000406988200028
XX
Accès ouvert
OA - Non
XX
Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Non OA
XX
Editeur
Elsevier
XX
Source
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY
XX
ISSN
0257-8972
XX
Type de document
Article
XX
Notoriété
4 - Excellente
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
XX
uid:/9H1K5MJH
12/10/2021 14:52:48 (latest)
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