Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
Depth profiling investigation by pARXPS and MEIS of advanced transistor technology gate stack
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BSO - Titre
Depth profiling investigation by pARXPS and MEIS of advanced transistor technology gate stack
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DOI
DOI
10.1016/j.mee.2016.11.018
XX
DOAI
DOAI
10.1016/j.mee.2016.11.018
XX
Identifiant WoS
WOS:000392901500004
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Accès ouvert
OA - Non
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Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Non OA
XX
Editeur
Elsevier
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Source
MICROELECTRONIC ENGINEERING
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ISSN
0167-9317
XX
Type de document
Article
XX
Notoriété
3 - Correcte
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
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uid:/B8MWHWJR
12/10/2021 14:52:35 (latest)
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