Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
Low-Pressure RF Remote Plasma Cleaning of Carbon-Contaminated B4C-Coated Optics
XX
BSO - Titre
Low-pressure RF remote plasma cleaning of carbon-contaminated B4C-coated optics
XX
DOI
DOI
10.1117/12.2269374
XX
DOAI
DOAI
10.1117/12.2269374
XX
Identifiant WoS
WOS:000406964100003
XX
Accès ouvert
OA - Non
XX
Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Non OA
XX
Editeur
SPIE
XX
Source
DAMAGE TO VUV, EUV, AND X-RAY OPTICS VI
XX
ISSN
0277-786X
XX
Type de document
Meeting Abstract
XX
Notoriété
0 - Sans notoriété
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INP - Institut de physique
XX
uid:/CSJ67SCF
12/10/2021 14:52:48 (latest)
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