Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
Emission Dependent on composition of Si-rich-SiNX Films obtained by PECVD
XX
BSO - Titre
Emission Dependent on composition of Si-rich-SiNX Films obtained by PECVD
XX
DOI
DOI
10.1088/1757-899x/169/1/012021
XX
DOAI
DOAI
10.1088/1757-899x/169/1/012021
XX
Identifiant WoS
WOS:000398727700021
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Accès ouvert
OA - Oui
XX
Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Editeur
XX
Editeur
IOP Publishing
XX
Source
INTERNATIONAL CONFERENCE ON DEFECTS IN INSULATING MATERIALS (ICDIM 2016)
XX
ISSN
1757-8981
XX
Type de document
Meeting Abstract
XX
Notoriété
0 - Sans notoriété
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INS2I - Institut des sciences de l'information et de leurs interactions
INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
XX
uid:/K80TPSJ6
12/10/2021 14:52:40 (latest)
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