Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap

Titre

BSO - Titre

Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap

DOI

DOAI

Identifiant WoS

WOS:000402552000046

Accès ouvert

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Type d'accès

Non OA

Editeur

IEEE - Institute of Electrical and Electronics Engineers

Source

IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2017)

ISSN

1084-6999

Type de document

Notoriété

0 - Sans notoriété

CNRS

Oui

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