Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
Measurement and modeling of plasma parameters in reactive high-power impulse magnetron sputtering of Ti in Ar/O-2 mixtures
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BSO - Titre
Measurement and modeling of plasma parameters in reactive high-power impulse magnetron sputtering of Ti in Ar/O2 mixtures
XX
DOI
DOI
10.1063/1.4977821
XX
DOAI
DOAI
10.1063/1.4977821
XX
Identifiant WoS
WOS:000400623700015
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Accès ouvert
OA - Non
XX
Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Non OA
XX
Editeur
AIP Publishing
XX
Source
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
XX
ISSN
0021-8979
XX
Type de document
Article
XX
Notoriété
3 - Correcte
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
XX
uid:/P6BPN5ZV
12/10/2021 14:52:42 (latest)
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