Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
Deposition and dielectric study as function of thickness of perovskite oxynitride SrTaO2N thin films elaborated by reactive sputtering
XX
BSO - Titre
Deposition and dielectric study as function of thickness of perovskite oxynitride SrTaO 2 N thin films elaborated by reactive sputtering
XX
DOI
DOI
10.1016/j.surfcoat.2016.10.053
XX
DOAI
DOAI
10.1016/j.surfcoat.2016.10.053
XX
Identifiant WoS
WOS:000406988200071
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Accès ouvert
OA - Oui
XX
Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Archive
XX
Editeur
Elsevier
XX
Source
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY
XX
ISSN
0257-8972
XX
Type de document
Article
XX
Notoriété
4 - Excellente
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INC - Institut de chimie
INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
XX
uid:/Q6FD69RC
12/10/2021 14:52:48 (latest)
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