Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
In-process monitoring of shape accuracy of flat surfaces of optical and microelectronic components in polishing
XX
BSO - Titre
In-process monitoring of shape accuracy of flat surfaces of optical and microelectronic components in polishing
XX
DOI
DOI
10.3103/s1063457617040086
XX
DOAI
DOAI
10.3103/s1063457617040086
XX
Identifiant WoS
WOS:000409936100008
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Accès ouvert
OA - Non
XX
Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Non OA
XX
Editeur
Allerton Press
XX
Source
JOURNAL OF SUPERHARD MATERIALS
XX
ISSN
1063-4576
XX
Type de document
Article
XX
Notoriété
1 - Médiocre
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
XX
uid:/SMH5JPJX
12/10/2021 14:52:51 (latest)
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