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Poids de l’Open access dans la production CNRS

Titre
Improvement of Sidewall Roughness of Sub-Micron Silicon-on-Insulator Waveguides for Low-Loss On-Chip Links
BSO - Titre
Improvement of sidewall roughness of sub-micron silicon-on-insulator waveguides for low-loss on-chip links
Identifiant WoS
WOS:000406851800034
Accès ouvert
OA - Non
Source - Accès ouvert
OA - Non
Type d'accès
Non OA
Editeur

SPIE

Source

SILICON PHOTONICS XII

ISSN
0277-786X
Type de document
  • Meeting Abstract
Notoriété
0 - Sans notoriété
CNRS
Oui
CNRS - Institut
  • INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
uid:/VK5BGNSW
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