Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
Boron and high-k dielectrics: Possible fourth etch stop colors for multipattern optical lithography processing
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BSO - Titre
Boron and high-k dielectrics: Possible fourth etch stop colors for multipattern optical lithography processing
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DOI
DOI
10.1116/1.4974920
XX
DOAI
DOAI
10.1116/1.4974920
XX
Identifiant WoS
WOS:000397762400036
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Accès ouvert
OA - Oui
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Source - Accès ouvert
OA - Non
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Type d'accès
Archive
XX
Editeur
American Vacuum Society
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Source
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A
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ISSN
0734-2101
XX
Type de document
Article
XX
Notoriété
3 - Correcte
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INC - Institut de chimie
XX
uid:/XLDNQPF7
12/10/2021 14:52:39 (latest)
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