Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
Silicides and Nitrides Formation in Ti Films Coated on Si and Exposed to (Ar-N-2-H-2) Expanding Plasma
XX
BSO - Titre
Silicides and Nitrides Formation in Ti Films Coated on Si and Exposed to (Ar-N2-H2) Expanding Plasma
XX
DOI
DOI
10.3390/coatings7020023
XX
DOAI
DOAI
10.3390/coatings7020023
XX
Identifiant WoS
WOS:000395504900007
XX
Accès ouvert
OA - Oui
XX
Source - Accès ouvert
OA - Oui
XX
Type d'accès
Editeur
XX
Editeur
MDPI
XX
Source
COATINGS
XX
ISSN
2079-6412
XX
Type de document
Article
XX
Notoriété
4 - Excellente
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INC - Institut de chimie
INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
XX
uid:/Z6JGSK9B
12/10/2021 14:52:37 (latest)
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