Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition-Outcome of the "Virtual Project on the History of ALD"
XX
BSO - Titre
Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition-Outcome of the "Virtual Project on the History of ALD"
XX
DOI
DOI
10.1116/1.4971389
XX
DOAI
DOAI
10.1116/1.4971389
XX
Identifiant WoS
WOS:000392120900050
XX
Accès ouvert
OA - Oui
XX
Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Editeur
XX
Editeur
American Vacuum Society
XX
Source
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A
XX
ISSN
0734-2101
XX
Type de document
Review
XX
Notoriété
3 - Correcte
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INC - Institut de chimie
XX
uid:/ZJGXLQGW
12/10/2021 14:52:34 (latest)
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